指导教师
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中国工程院院士。主要研究方向:微型机械电子系统(MEMS)与微纳米技术、精密仪器与传感器技术、精密光电测试技术、精密与超精密加工技术等。联系电话:029-82663455; Email:zdjiang@mail.xjtu.edu.cn
教育部长江学者。主要研究方向:MEMS技术、传感器技术及微纳制造领域的基础理论和工程应用。联系电话:029-83395073;Email: zhaoyulong@mail.xjtu.edu.cn
主要研究方向:智能化光电检测、实时在线测试以及机器人视觉技术,光纤生物信息检测、生物组织成像技术等。联系电话:029-82668984;Email:zhaohong@mail.xjtu.edu.cn
主要研究方向:计算机测控系统、精密仪器。联系电话:029-82668616
主要研究方向:微纳米检测与加工、光学超精密检测与图像处理。联系电话:029-82668616; Email:spfang@mail.xjtu.edu.cn
主要研究方向:精密超精密加工与测量技术,精密超精密光学加工和制造技术。联系电话:029-82668616
主要研究方向:生物医学检测新技术及仪器、生化检测微系统。联系电话:029-82682750;Email: ncpeng@mail.xjtu.edu.cn
主要研究方向:光电检测技术,逆向工程。联系电话:029-82668616;Email:lb@mail.xjtu.edu.cn
主要研究方向:微操作与微机器人,生物检测仪器及生物芯片技术。联系电话:13087534596;Email: chhw@mail.xjtu.edu.cn
主要研究方向:微机械与微纳米技术、几何量计量技术与智能仪器。联系电话:029-82668616-200;Email: gyyuan@mail.xjtu.edu.cn
主要研究方向:智能控制系统、超精密定位系统控制。联系电话:029-82668616;Email: yangchuan@mail.xjtu.edu.cn
主要研究方向:激光检测技术研究和工程实施。联系电话:82668984;Email:yue@mail.xjtu.edu.cn
主要研究方向:智能光电检测技术与仪器、数字化激光三维测量技术、光纤白光光谱生物免疫传感器技术。电话:029-82663930;Email:yuxiao@mail.xjtu.edu.cn
主要研究方向:微纳米加工与测试技术,几何量测量技术与标准。联系电话:029-82668616; Email: wxjing@mail.xjtu.edu.cn
主要研究方向:微纳米测试技术,精密超精密加工技术。联系电话:029- 83395350;Email:whairong@mail.xjtu.edu.cn
主要研究方向:纳米器件及集成系统、纳米加工与测量、光学检测与仪器科学以及精密超精密加工等。联系电话:029-82668616-149;Email:shuming.yang@mail.xjtu.edu.cn
主要研究方向:微传感器技术与精密加工技术。联系电话:029-82668616;Email:libozhao@mail.xjtu.edu.cn
青年千人。主要研究方向:微纳传感与测试技术,微流控芯片技术,以及功能材料与精密加工技术。联系电话:18202971843; Email: seanwei@mail.xjtu.edu.cn
主要研究方向:微系统设计、检测与微电子加工技术。
主要研究方向:光电检测、计算机测控以及复杂型面精密检测技术;联系电话:029-82668616-152;Email:dianjianjun@126.com
主要研究方向:微型机械电子系统(MEMS)与微米纳米技术。联系电话:15902988334;Email:t.b12@mail.xjtu.edu.cn
负责研究所设备管理和实验教学工作。联系方式:029-82668616
所 长:蒋庄德
副所长:赵玉龙 赵 宏
 
联系电话:029-82668616 82668984 83395073 
    365足球网站官网于2009年由原精密工程研究所和激光红外应用研究所合并而成。主要研究方向包括:MEMS与微纳制造技术、纳米测量技术与精密仪器、传感器技术、智能型光电检测技术及仪器、数控与精密超精密加工技术、机器人视觉和反求工程技术、生物仪器与测试技术、智能型光电检测技术及仪器,光学无损检测,三维形貌测量,光纤检测技术,光学图像信息处理,电子和数控技术,机器人视觉和反求工程技术等。该所是机械工程和仪器科学与技术两个一级学科博士学位授权点和博士后流动站。
    该所现有教授8人,副教授8人,讲师3人以及高级工程师1人。其中,享受国务院政府津贴1人,教育部长江学者创新团队1个,长江学者特聘教授1人,陕西省三秦学者特聘教授1人,教育部新世纪人才5人,“腾飞人才”特聘教授3人。研究所已培养毕业博士50余人,硕士160余人。现在读博士后及博士生50余人,硕士生100余人。
    该所承担着国家重点基础研究发展规划(973计划)项目、国家高技术研究发展计划(863)重点项目、国家自然科学基金重点项目、国家自然科学基金项目、国防科工委国防项目、教育部重点科技项目、陕西省及西安市重大科技攻关项目以及航空航天部国家及省部委科研项目数十项。发表论文600多篇,其中SCI、EI、ISTP收录300多篇。相关技术获国家技术发明奖和科技进步奖二等奖4项、省部科技进步奖10余项。获得国家授权发明专利等60余项、软件著作权20余项。
    该所与美国、英国、澳大利亚、日本、韩国、新加坡以及国内的相关高校和科研机构开展了多方面的学术交流与合作,每年有数十人次参加国内外的学术会议和访问学者计划。
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